화학물질안전원 제공환경부 소속 화학물질안전원은 화학사고 위험을 줄이기 위해 자체 개발한 '신속 누출 탐지 및 차단 기술'을 탑재한 반도체 가스공급설비를 시범 설치한다고 5일 밝혔다.
화학물질안전원에 따르면 반도체·디스플레이 업종은 공정 특성상 독성물질과 인화성물질을 많이 사용해 누출 시 피해 영향범위가 다른 업종보다 더 크기 때문에 신속하게 누출을 탐지해 즉시 차단해야 위험을 줄일 수 있다.
또한, 가스공급설비(캐비닛)에서 누출이 발생하면 누출 가스를 신속히 포집해 중화처리 설비로 이송해야 하나, 가스 누출 감지가 늦어져 일부 고압가스가 실내로 유입돼 노동자 피해가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 신속한 가스 누출 탐지와 차단이 필요하다.
환경부 화학물질안전원 제공이에 화학물질안전원은 2023년부터 자체 연구를 통해 위험성을 확인하고, 이를 해결하기 위해 2024년 초음파 탐지기를 활용해 신속히 누출을 감지하고 실내 유입을 막는 원천 기술 특허를 국내·외에 출원했다고 소개했다.
이러한 기술을 현장에 적용하기 위해 에스엠인스트루먼트(주)와 손잡고 지난 6월 초음파 탐지기 시제품을 개발한 데 이어, 반도체 업체 에스케이실트론(주)에 누출 가스 신속 탐지 및 실내 유입 자동 차단 기술을 가스공급설비에 설치하는 시범 사업을 진행한다는 계획이다.
박봉균 화학물질안전원장은 "앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 지속해 우리 기업들이 보다 안전한 환경을 만들 수 있도록 적극 지원하겠다"고 말했다.