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기업/산업

    '슈퍼을' ASML 찾은 이재용…EUV 노광장비 확보 '총력전'

    핵심요약

    이재용 부회장과 ASML 경영진은 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광 장비의 원활한 수급 방안을 논의했다.

    이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다. 삼성전자 제공
    2년 만에 유럽을 찾은 이재용 삼성전자 부회장이 EUV(극자외선) 노광장비를 독점 생산하는 네덜란드의 ASML 본사를 방문해 노광장비의 원활한 수급 방안 등을 논의했다.

    이 부회장은 삼성전자의 최첨단 파운드리(반도체 위탁생산) 사업 확대에 필수적인 ASML 장비의 안정적인 공급이 가능하도록 네덜란드 총리에게 협조를 요청하는 등 EUV 확보를 위한 '총력전'을 펼치고 있다.

    15일 삼성전자에 따르면 이재용 부회장은 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 CEO(최고경영자), 마틴 반 덴 브링크 CTO(최고기술경영자) 등 경영진을 만나 양사 간 협력 강화 방안을 논의했다. 경계현 삼성전자 DS부문장도 배석했다.

    이재용 삼성전자 부회장이 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO(왼쪽), 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) ASML CTO(오른쪽)와 촬영한 기념사진. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장이 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO(왼쪽), 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) ASML CTO(오른쪽)와 촬영한 기념사진. 삼성전자 제공
    이 부회장과 ASML 경영진은 미래 반도체 기술 트렌드와 반도체 시장 전망, 양사 중장기 사업 방향 등을 폭넓게 협의했고 특히 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광 장비의 원활한 수급 방안을 논의했다.

    ASML은 7나노미터(㎚=10억분의 1m) 이하 최첨단 반도체 미세공정에 필수적인 EUV 노광장비를 독점 생산하는 글로벌 업체다.

    삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다는 판단에 따라 20년 전부터 ASML과 협력해 왔으며, 전략적 지분 투자를 통해 올해 1분기 기준 5조1900억원 상당의 이 회사 지분 1.5%를 보유하고 있다.

    이재용 삼성전자 부회장은 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검했다. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장은 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검했다. 삼성전자 제공
    EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술로, 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 인공지능(AI)·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는 데 필수적이다.

    삼성전자는 2019년 4월 업계 최초로 EUV 공정을 적용한 7나노 시스템온칩(SoC) 제품을 출하한 데 이어 그해 하반기부터는 6나노 제품 양산을 시작했다. 시스템반도체에 이어 메모리 업계 최초로 EUV 공정을 적용한 D램을 양산하는 등 EUV의 활용 범위를 확대해 가고 있다.

    문제는 ASML이 독점 생산하는 EUV 노광장비의 양이 한정돼 있다 보니 이를 확보하려는 경쟁이 매우 치열하다는 점이다. 장비 생산업체인 ASML이 반도체 업계의 '슈퍼을(乙)'로 통할 정도다. 한대에 2천억~3천억원에 달하는 이 장비는 연간 50대 안팎 정도만 생산된다.

    이재용 삼성전자 부회장은 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검했다. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장은 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검했다. 삼성전자 제공
    증권가에 따르면 지난해 연간 ASML의 EUV 노광장비 출하량은 48대로, 파운드리 업계 1위인 대만의 TSMC가 22대, 삼성전자가 15대를 차지한 것으로 전해졌다. 올해 예상 장비 출하량은 51대로, TSMC와 삼성전자가 각각 18대와 22대를 확보한 것으로 알려졌다.

    이 부회장은 20개월 전인 2020년 10월에도 ASML 본사를 찾아 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다. 2016년 11월에도 삼성전자를 방문한 ASML 경영진을 만났고, 2019년 2월에는 프랑스 파리에서 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나눴다.

    이 부회장은 이날 마르크 뤼터 네덜란드 총리와의 만남에서도 삼성전자의 최첨단 파운드리 사업 확대에 필수적인 ASML 장비의 안정적인 공급이 가능하도록 협조를 요청한 것으로 알려졌다.

    이재용 삼성전자 부회장은 14일(현지시간) 네덜란드 헤이그에 위치한 총리 집무실에서 마르크 뤼터(Mark Rutte) 네덜란드 총리와 만났다. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장은 14일(현지시간) 네덜란드 헤이그에 위치한 총리 집무실에서 마르크 뤼터(Mark Rutte) 네덜란드 총리와 만났다. 삼성전자 제공
    지난 2016년 9월 이후 6년 만에 다시 만난 이 부회장과 뤼터 총리는 파운드리 역량 강화를 위한 협력 확대와 글로벌 반도체 공급망 문제 해소 등 포괄적이고 전략적인 협력 방안을 논의했다. 네덜란드는 반도체 연구개발부터 설계·장비·전자기기 완제품까지 관련 산업 생태계가 고루 발전한 반도체 산업의 핵심 국가다.

    삼성전자는 △반도체 연구개발 및 투자 확대 △ASML과의 기술 협력 강화 등을 통해 EUV를 비롯한 차세대 반도체 생산 기술을 고도화시켜 파운드리 분야의 경쟁력을 키우는 동시에 메모리 반도체 분야의 '초격차'도 더욱 확대해 나갈 계획이다.

    이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다. 삼성전자 제공.이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다. 삼성전자 제공
    이 부회장은 다음날인 15일(현지시간)에는 벨기에 루벤에 위치한 유럽 최대 규모의 종합반도체 연구소 imec을 방문했다. 1984년 설립된 imec는 반도체 분야의 '글로벌 연구·혁신 허브'로 평가받는 비영리 연구소로, 약 100개국과 반도체 설계, 공정, 소자, 시험, 제작 등에 관한 공동 연구를 진행하고 있다.

    이 부회장은 루크 반 덴 호브 imec CEO와 만나 반도체 분야 최신 기술과 연구개발 방향 등을 논의했다. 또 최첨단 반도체 공정기술 이외에 인공지능, 생명과학, 미래 에너지 등 imec에서 진행 중인 첨단분야 연구 과제를 소개받고 연구개발 현장을 살펴보기도 했다.

    한편 지난 7일 출장길에 오른 이 부회장은 독일, 네덜란드, 벨기에, 프랑스 등을 돌며 반도체 장비·전기차용 배터리·5G 이동통신 등에 특화된 전략적 파트너들을 만나 협력 강화 방안을 논의한 뒤 오는 18일 귀국한다.

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